發(fā)布日期:2022-04-19 瀏覽次數(shù):
住友臭氧發(fā)生器 SGRP-03JS
住友的臭氧發(fā)生器采用平板式放電電池,通過電力將氧氣轉(zhuǎn)化為臭氧。放電室由高純度陶瓷組成,以防止金屬污染達(dá)到極低水平。臭氧濃度超過400g/(n),是市場(chǎng)上的上等產(chǎn)品。在半導(dǎo)體、FDP等電子器件材料的干濕加工過程中受到了眾多客戶的高度重視。
具體信息:
型號(hào):SGRP-03JS
臭氧氣體流速:350g/m3(N)
臭氧氣體供應(yīng)壓力:15L/min (5L/min x 3Line)
冷卻水溫度:20°C±2°C
尺寸:W570mm x D850mm x H1,870mm
重量:360kg
功率:200-220VAC, 3-phase
型號(hào):SGRF-03JA
臭氧氣體流速:400g/m3(N)
臭氧氣體供應(yīng)壓力:20L/min
冷卻水溫度:5°C
尺寸:W570mm x D850mm x H1,836mm
重量:350kg
功率:200-220VAC, 3-phase
住友臭氧發(fā)生器應(yīng)用:
半導(dǎo)體器件
Si/復(fù)合晶圓
FDP(LTPS、HTPS、TFT、彩色濾光片、OLED)
光罩
發(fā)光二極管
優(yōu)勢(shì):
能夠通過單獨(dú)控制向大容量臭氧氣體提供一條管線或多條管線。
高濃度;高達(dá)400g/m3(N)
產(chǎn)品線豐富;小到大容量。
高壓;*大0.3Mpa(SGRP系列)
無氮摻雜(SGRF系列)
高壓耐受,長壽命放電單元
快速啟動(dòng),快速響應(yīng)
與臭氧監(jiān)測(cè)儀(閉環(huán)控制)集成的穩(wěn)定濃度
CE、NRTL、半標(biāo)準(zhǔn)適用
管道材料;從316LSS或PFA中選擇